芯片測試裝置和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020178180.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211826357U 公開（公告）日 2020-10-30
申請公布號 CN211826357U 申請公布日 2020-10-30
分類號 G01R31/28(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 巫海蒼;周穎聰;宋一品;梁寒瀟 申請（專利權(quán)）人 蘇州極刻光核科技有限公司
代理機構(gòu) 北京卓唐知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 崔金
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)5幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種芯片測試裝置和系統(tǒng)。該芯片測試裝置包括：兩個探針機構(gòu)、兩個耦合機構(gòu)和用于放置待測芯片的載物臺；兩個探針機構(gòu)和兩個耦合機構(gòu)均對稱設(shè)置在載物臺的兩側(cè)；探針機構(gòu)包括多自由度驅(qū)動座、探針支架和用于檢測待測芯片的電極探針；電極探針連接在探針支架的第一端，探針支架的第二端連接在多自由度驅(qū)動座上；耦合機構(gòu)包括多自由度驅(qū)動座、光纖夾具和用于傳輸光信號對待測芯片傳輸光信號的光纖，光纖夾持在光纖夾具上端，光纖夾具連接在多自由度驅(qū)動座上；以使多自由度驅(qū)動座驅(qū)動光纖夾具或電極探針以多自由度移動，并使光纖或電極探針接觸或遠離待測芯片。本申請可以解決相關(guān)技術(shù)中無法穩(wěn)定地對芯片進行檢測的技術(shù)問題。??