熱光型相位調(diào)制模塊及光調(diào)制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110721893.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113359328A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113359328A 申請公布日 2021-09-07
分類號 G02F1/01 分類 光學(xué);
發(fā)明人 梁寒瀟;宋一品;周穎聰;巫海蒼;毛文浩;宋時偉;孫維祺;俞清揚 申請（專利權(quán)）人 蘇州極刻光核科技有限公司
代理機構(gòu) 北京市漢坤律師事務(wù)所 代理人 王其文;張濤
地址 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)5幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供一種熱光型相位調(diào)制模塊及光調(diào)制器，涉及光通信技術(shù)領(lǐng)域。熱光型相位調(diào)制模塊包括：襯底；隔離層，位于襯底之上；第一波導(dǎo)，位于隔離層之上；及至少一個加熱元件，位于隔離層之上，并且與第一波導(dǎo)在垂直于襯底底面的方向上無交疊；其中，熱光型相位調(diào)制模塊具有自頂面向下延伸并且曝露出襯底的多個側(cè)部隔熱槽，多個側(cè)部隔熱槽圍繞第一波導(dǎo)和所述至少一個加熱元件排列。本公開實施例技術(shù)方案可以提高熱光型相位調(diào)制模塊的調(diào)制效率，進而提高光調(diào)制器的調(diào)制效率。