端面耦合器和半導(dǎo)體器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110077861.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112904481A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112904481A 申請公布日 2021-06-04
分類號 G02B6/122;G02B6/26 分類 光學(xué);
發(fā)明人 梁寒瀟;宋一品;周穎聰;巫海蒼;毛文浩;宋時偉;孫維祺;俞清揚 申請（專利權(quán)）人 蘇州極刻光核科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市漢坤律師事務(wù)所 代理人 初媛媛;吳麗麗
地址 215123 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)5幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種端面耦合器和半導(dǎo)體器件。端面耦合器包括：襯底，該襯底中具有凹槽；隔離層，位于襯底上；覆蓋層，位于隔離層上；第一光波導(dǎo)，位于凹槽上方并且包括隔離層的一部分和覆蓋層的一部分；以及第二光波導(dǎo)，位于覆蓋層內(nèi)并且關(guān)于第一光波導(dǎo)的中心軸線對稱地形成，第二光波導(dǎo)包括第一子光波導(dǎo)和第二子光波導(dǎo)，第二子光波導(dǎo)形成于第一子光波導(dǎo)上并且與第一子光波導(dǎo)對準(zhǔn)。第一子光波導(dǎo)包括依次連接的第一漸變區(qū)域、第一線性區(qū)域、第二漸變區(qū)域和平板區(qū)域。第二子光波導(dǎo)包括依次連接的第三漸變區(qū)域和第二線性區(qū)域。