電光調(diào)制器的終端負(fù)載的制備方法及結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111521422.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114137748A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114137748A 申請公布日 2022-03-04
分類號 G02F1/03（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 梁寒瀟;宋一品;周穎聰;巫海蒼;毛文浩;宋時(shí)偉;孫維祺;俞清揚(yáng) 申請（專利權(quán)）人 蘇州極刻光核科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知果之信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 高科
地址 215123江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號納米城西北區(qū)5幢102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種電光調(diào)制器的終端負(fù)載的制備方法及結(jié)構(gòu)。其中，電光調(diào)制器的終端負(fù)載結(jié)構(gòu)從下至上依次是襯底層、隔離層、電光材料薄膜、混合層以及薄膜電阻。本申請中，通過采用薄膜電阻代替現(xiàn)有技術(shù)中的貼片電阻，可以解決現(xiàn)有技術(shù)中薄膜電光調(diào)制器由于終端電阻造成的不穩(wěn)定的技術(shù)問題，實(shí)現(xiàn)了提高電光調(diào)制器射頻電路的穩(wěn)定性與降低生產(chǎn)成本的技術(shù)效果。