一種半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的故障檢測(cè)裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021081790.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213022912U | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213022912U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01N21/956(2006.01)I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 廖海濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇邑文微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 朱建 |
| 地址 | 226000江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備的故障檢測(cè)裝置，涉及到半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備用故障檢測(cè)領(lǐng)域，包括檢測(cè)臺(tái)，所述檢測(cè)臺(tái)的頂側(cè)固定安裝有兩個(gè)支撐柱，兩個(gè)支撐柱的頂側(cè)均開設(shè)有伸縮槽，兩個(gè)伸縮槽內(nèi)均滑動(dòng)安裝有伸縮柱，兩個(gè)伸縮柱的頂側(cè)分別延伸至兩個(gè)伸縮槽外并均固定安裝有橫桿。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，可通過(guò)滑動(dòng)控制塊來(lái)帶動(dòng)兩個(gè)激光發(fā)射筆水平移動(dòng)，從而可以同時(shí)對(duì)兩個(gè)半導(dǎo)體進(jìn)行對(duì)比采集數(shù)據(jù)，采集到的數(shù)據(jù)通過(guò)處理中心進(jìn)行分析對(duì)比，最終可自動(dòng)得出半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備出現(xiàn)故障的位置，不再需要人工肉眼來(lái)進(jìn)行觀察對(duì)比，可有效避免人工視覺(jué)誤差而導(dǎo)致誤判故障，提高了檢測(cè)的速度和準(zhǔn)確性。?? |
