一種等離子刻蝕設(shè)備腔體氣體流向控制桶
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | 202021056700X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212411996U | 公開（公告）日 | 2021-01-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212411996U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-26 |
| 分類號(hào) | H01J37/02(2006.01)I; | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 廖海濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇邑文微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 邢若蘭 |
| 地址 | 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種等離子刻蝕設(shè)備腔體氣體流向控制桶,包括桶體，所述桶體的側(cè)壁設(shè)置有出氣口，所述出氣口的側(cè)壁固定連接有第二轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸的表面活動(dòng)連接有皮帶，所述桶體的頂端固定連接有第一電機(jī)，所述第一電機(jī)的輸出端固定連接有第一轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁固定連接有固定架，所述固定架的內(nèi)部固定連接有旋轉(zhuǎn)輥，所述旋轉(zhuǎn)輥的正面固定連接有導(dǎo)流板，所述旋轉(zhuǎn)輥的正面且位于導(dǎo)流板的一側(cè)固定連接有第二齒輪，所述固定架的頂端固定連接有第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的輸出端固定連接有第一齒輪，所述第一齒輪的表面活動(dòng)連接有鏈條。本實(shí)用新型，可以帶動(dòng)固定固定架進(jìn)行旋轉(zhuǎn)到合適的位置后通過導(dǎo)流板進(jìn)行控制氣體的流向，使用方便。?? |
