一種半導體制造用濕法清洗設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921076056.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211555831U | 公開（公告）日 | 2020-09-22 |
| 申請公布號 | CN211555831U | 申請公布日 | 2020-09-22 |
| 分類號 | H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 廖海濤 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇邑文微電子科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京商專永信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 江蘇邑文微電子科技有限公司 |
| 地址 | 226000江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種半導體制造用濕法清洗設(shè)備，涉及半導體技術(shù)領(lǐng)域，包括機體，所述機體的一側(cè)固定連接有旋轉(zhuǎn)盤控制按鈕，所述機體的一側(cè)固定連接有噴水灑控制按鈕，所述機體的一側(cè)固定連接有風扇控制按鈕，所述機體的一側(cè)固定連接有出水管，所述機體內(nèi)壁的頂部固定連接有噴水灑。該半導體制造用濕法清洗設(shè)備，通過在機體內(nèi)壁固定連接了立柱，以及旋轉(zhuǎn)盤、放置架和活動卡扣之間的配合設(shè)置，極大的提高了清洗吹干的效果,解決了現(xiàn)有清洗吹干效果不理想的情況。該半導體制造用濕法清洗設(shè)備，通過在機體一側(cè)固定連接了旋轉(zhuǎn)盤控制按鈕、噴水灑控制按鈕、風扇控制按鈕，解決了現(xiàn)有的清洗吹干過程比較繁瑣的情況。?? |
