一種深度等離子刻蝕機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023349458.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214175970U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN214175970U 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖海濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇邑文微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京商專潤(rùn)文專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳平
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及等離子刻蝕機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種深度等離子刻蝕機(jī)，包括安裝基座與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述的安裝基座的兩側(cè)安裝有連接腳件；所述的所述的安裝基座上安裝有放置箱體，所述的放置箱體的兩側(cè)設(shè)置有滑槽，所述的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)連接腳件轉(zhuǎn)動(dòng)連接在安裝基座的兩側(cè)，通過(guò)螺紋桿底部安裝軸承的設(shè)置，使得螺紋桿能夠在連接腳件上固定方向上轉(zhuǎn)動(dòng)，避免螺紋桿在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)發(fā)生偏移，同時(shí)通過(guò)螺紋桿底部安裝軸承的設(shè)置，使得螺紋桿在轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中更加流暢，避免卡頓，有效避免壓板與放置箱體發(fā)生碰撞，保證刻蝕機(jī)硅片能夠在放置箱體內(nèi)部整體壓緊。