一種提高固晶機(jī)貼裝芯片位置精度的設(shè)備及其方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210185445.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114639620A 公開（公告）日 2022-06-17
申請公布號 CN114639620A 申請公布日 2022-06-17
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I;F16F15/02（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁琛琦 申請（專利權(quán)）人 馬丁科瑞半導(dǎo)體技術(shù)（南京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 211100江蘇省南京市江寧區(qū)空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)飛天大道69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種提高固晶機(jī)貼裝芯片位置精度的設(shè)備，包括控制系統(tǒng)，還包括設(shè)備基座、支架、輸送機(jī)構(gòu)、芯片貼裝機(jī)構(gòu)、芯片貼裝頭以及抑振機(jī)構(gòu)，支架固定在設(shè)備基座上，輸送機(jī)構(gòu)、芯片貼裝機(jī)構(gòu)以及抑振機(jī)構(gòu)都固定在支架上，芯片貼裝機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有Y軸方向的第一直線電機(jī)，芯片貼裝頭與第一直線電機(jī)連接，抑振機(jī)構(gòu)的放置方向與芯片貼裝機(jī)構(gòu)的放置方向一致，抑振機(jī)構(gòu)具有Y軸方向上移動(dòng)的配重塊。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，通過控制系統(tǒng)控制第一直線電機(jī)和第二直線電機(jī)進(jìn)行相向或相對方向做加速或減速運(yùn)動(dòng)，設(shè)備易于控制，保證該芯片貼裝頭和抑振機(jī)構(gòu)的配重塊的驅(qū)動(dòng)力大小相等，方向相反，有效消除設(shè)備在Y方向上的振動(dòng)，提高芯片貼裝位置精度。