一種固晶機用抑振機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220410477.7 申請日 -
公開（公告）號 CN217002866U 公開（公告）日 2022-07-19
申請公布號 CN217002866U 申請公布日 2022-07-19
分類號 F16F15/02（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 丁琛琦 申請（專利權(quán)）人 馬丁科瑞半導(dǎo)體技術(shù)（南京）有限公司
代理機構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 211100江蘇省南京市江寧區(qū)空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)飛天大道69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種固晶機用抑振機構(gòu)，包括固定本體、配重塊以及直線電機，直線電機固定在固定本體上，配重塊固定在直線電機上，配重塊與固定本體通過滑軌連接，固定本體上固定有讀數(shù)頭，配重塊設(shè)有光柵尺，讀數(shù)頭設(shè)置在光柵尺的上方，固定本體上還固定有光電開關(guān)，配重塊朝向光電開關(guān)的一端還固定有擋光片。本實用新型通過配重塊在Y方向上移動產(chǎn)生的驅(qū)動力，抵消固晶機貼裝頭移動產(chǎn)生的驅(qū)動力，實現(xiàn)消除Y軸方向的振動，避免引線框架發(fā)生振動，導(dǎo)致貼裝精度差，不需使用墊片，適用于固晶機的使用。通過讀數(shù)頭與光柵尺配合使用，實現(xiàn)控制系統(tǒng)對直線電機控制配重塊移動的加速度與需要的加速度相同，保證其能夠消除振動，實現(xiàn)抑振的目的。