一種固晶機(jī)用抑振機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202220410477.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN217002866U 公開(kāi)（公告）日 2022-07-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN217002866U 申請(qǐng)公布日 2022-07-19
分類號(hào) F16F15/02（2006.01）I;H01L21/60（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 丁琛琦 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 馬丁科瑞半導(dǎo)體技術(shù)（南京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 -
地址 211100江蘇省南京市江寧區(qū)空港經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)飛天大道69號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種固晶機(jī)用抑振機(jī)構(gòu)，包括固定本體、配重塊以及直線電機(jī)，直線電機(jī)固定在固定本體上，配重塊固定在直線電機(jī)上，配重塊與固定本體通過(guò)滑軌連接，固定本體上固定有讀數(shù)頭，配重塊設(shè)有光柵尺，讀數(shù)頭設(shè)置在光柵尺的上方，固定本體上還固定有光電開(kāi)關(guān)，配重塊朝向光電開(kāi)關(guān)的一端還固定有擋光片。本實(shí)用新型通過(guò)配重塊在Y方向上移動(dòng)產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力，抵消固晶機(jī)貼裝頭移動(dòng)產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)力，實(shí)現(xiàn)消除Y軸方向的振動(dòng)，避免引線框架發(fā)生振動(dòng)，導(dǎo)致貼裝精度差，不需使用墊片，適用于固晶機(jī)的使用。通過(guò)讀數(shù)頭與光柵尺配合使用，實(shí)現(xiàn)控制系統(tǒng)對(duì)直線電機(jī)控制配重塊移動(dòng)的加速度與需要的加速度相同，保證其能夠消除振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)抑振的目的。