一種晶圓臺藍膜張緊方法及調(diào)整機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210246594.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114649255A 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN114649255A 申請公布日 2022-06-21
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁琛琦 申請（專利權(quán)）人 馬丁科瑞半導(dǎo)體技術(shù)（南京）有限公司
代理機構(gòu) 南京科知維創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 -
地址 211100江蘇省南京市江寧區(qū)空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)飛天大道69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓臺藍膜張緊方法及調(diào)整機構(gòu)。包括底板、設(shè)置在底板上方的轉(zhuǎn)盤、設(shè)置在底板內(nèi)的調(diào)整塊、連接底板以及轉(zhuǎn)盤的導(dǎo)輪、設(shè)置在轉(zhuǎn)盤上方的張緊座、與張緊座可拆卸連接的晶圓夾組件、環(huán)繞在轉(zhuǎn)盤外側(cè)的同步帶、以及設(shè)置在所述底板上的晶圓臺旋轉(zhuǎn)驅(qū)動組件、張緊輪組件、傳感器組件、拉伸彈簧、張緊驅(qū)動組件、傳感器推送組件和總光電開關(guān)；所述拉伸彈簧連接所述傳感器推送組件和張緊驅(qū)動組件；本發(fā)明實現(xiàn)全自動張緊藍膜和晶圓角度調(diào)整。在通過使用同步帶的設(shè)計，再配合推頂組件以及傳感器組件使晶圓臺保持高精度；并且使用方便簡單。