一種機(jī)械化學(xué)研磨頭中心構(gòu)件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121035519.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215092900U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN215092900U 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) B24B37/12（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;惠宏業(yè);王學(xué)澤;宋召東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海江豐平芯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 201400上海市奉賢區(qū)奉浦工業(yè)區(qū)奉浦大道111號(hào)5樓2427室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械化學(xué)研磨頭中心構(gòu)件，為空心圓環(huán)結(jié)構(gòu)，上表面依次設(shè)置有第一凹槽、凸部和第四凹槽，沿徑向以圓心為基準(zhǔn)；第一凹槽內(nèi)設(shè)置有第一凹孔、第二凹孔及第三凹孔；凸部表面設(shè)置有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽上設(shè)置有第四凹孔和第五凹孔；第一凹孔和空心圓環(huán)結(jié)構(gòu)的內(nèi)側(cè)壁之間設(shè)置有連接通道；第四凹孔和第二凹孔相連通；下表面設(shè)置依次有圓形凹槽和臺(tái)階面，臺(tái)階面上設(shè)置有第六凹孔、第七凹孔及第八凹孔；第三凹孔和第六凹孔相連通；第五凹孔和第七凹孔相連通；第八凹孔和空心圓環(huán)結(jié)構(gòu)的外側(cè)面相連通。設(shè)計(jì)新的氣道以改善晶圓在研磨過(guò)程中受力情況，從而提升研磨過(guò)程中晶圓的平坦化程度，保證研磨后的晶圓具有良好的平面度。