一種密封圈及包含其的化學機械拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121036375.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215110516U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215110516U 申請公布日 2021-12-10
分類號 F16J15/3284（2016.01）I;B24B37/00（2012.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;惠宏業(yè);王學澤;范興潑 申請（專利權(quán)）人 上海江豐平芯電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王巖
地址 201400上海市奉賢區(qū)奉浦工業(yè)區(qū)奉浦大道111號5樓2427室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種密封圈及包含其的化學機械拋光裝置，所述密封圈呈圓環(huán)型；所述密封圈自外環(huán)向內(nèi)環(huán)依次包括第一平部、第一凸部和第二平部；所述第一凸部為倒U型凸起，所述倒U型凸起下部中空；所述第一平部靠近所述第一凸部的凸起側(cè)設置有第一凹槽；所述第二平部與第一凸部的端部通過圓弧凹槽連接；所述密封圈形成有7區(qū)活動密封圈，能夠保障在化學機械拋光過程中研磨頭內(nèi)部氣壓狀態(tài)與外部隔絕，從而達到精準研磨拋光的效果，包含其的化學機械拋光裝置提高了化學機械拋光的精確度，應用前景廣闊。