一種機械化學研磨中研磨頭進氣構件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121036755.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214723333U 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN214723333U 申請公布日 2021-11-16
分類號 B24B37/12（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;惠宏業(yè);王學澤;宋召東 申請（專利權）人 上海江豐平芯電子科技有限公司
代理機構 北京遠智匯知識產權代理有限公司 代理人 王巖
地址 201400上海市奉賢區(qū)奉浦工業(yè)區(qū)奉浦大道111號5樓2427室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種機械化學研磨中研磨頭進氣構件，為空心圓結構，下表面設置有圓形凹槽，圓形凹槽內設置有第一凸部，上表面設置有第二凸部，圍繞所述第二凸部設置有至少6個沿徑向分布的凹槽；第二凸部上設置有第三凸部；第一凸部、第二凸部和第三凸部的中心線和所述空心圓結構的中心線相重合；第二凸部的表面圍繞第三凸部設置有通孔；第三凸部的表面設置有通孔和至少6個氣孔；氣孔和所述凹槽通過通道進行連通；所述通道中的第一通道的直徑＜第二通道的直徑。通過對進氣構件的氣道進行重新設計，增加新的孔道和通道，解決了現(xiàn)有技術中晶圓研磨不均勻的問題，保證了晶圓研磨后可以實現(xiàn)完全的平坦化，提高了生產效率。