一種化學(xué)機(jī)械研磨用保持環(huán)及其粘接方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111563271.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114178981A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114178981A 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) B24B37/32（2012.01）I;B24C1/04（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;惠宏業(yè);王學(xué)澤;張薇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海江豐平芯電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 牛海燕
地址 201400上海市奉賢區(qū)奉浦工業(yè)區(qū)奉浦大道111號(hào)5樓2427室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種化學(xué)機(jī)械研磨用保持環(huán)及其粘接方法，所述粘接方法包括：將保持環(huán)的兩部分結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行噴砂處理，然后進(jìn)行清洗；將清洗后的保持環(huán)的兩部分結(jié)構(gòu)的粘接面上涂抹粘接劑，然后將兩者的粘接面扣合并固定；將固定后的保持環(huán)進(jìn)行加熱固化，得到粘接后的保持環(huán)。本發(fā)明所述方法通過(guò)對(duì)保持環(huán)的兩部分結(jié)構(gòu)進(jìn)行噴砂、清洗等前處理工藝，增加表面粗糙度和比表面積，再經(jīng)涂抹粘接劑后扣合固定，避免在粘接劑固化前造成兩者相對(duì)位置的移動(dòng)，調(diào)節(jié)粘接工藝參數(shù)，可縮短粘接時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，并保持較高的粘接強(qiáng)度；粘接時(shí)間的減少，可減少夾具的占用時(shí)間，從而提高夾具的使用效率；所述方法操作簡(jiǎn)單，節(jié)約成本，可有效擴(kuò)展應(yīng)用范圍。