一種用于微波輸能窗口的多晶金剛石厚膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110171912.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112941487A 公開（公告）日 2021-06-11
申請公布號 CN112941487A 申請公布日 2021-06-11
分類號 C23C16/27;C23C16/511;C23C16/52 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李義鋒;安曉明;姜龍;張雅淋;劉曉晨;葛新崗 申請（專利權）人 河北普萊斯曼金剛石科技有限公司
代理機構 石家莊冀科專利商標事務所有限公司 代理人 孟玉寒
地址 050081 河北省石家莊市橋西區(qū)友誼南大街46號3號樓319室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于微波輸能窗口的多晶金剛石厚膜，所述多晶金剛石厚膜為雙層柱狀晶結構，其包括第一層金剛石膜和第二層金剛石膜，所述第二層金剛石膜生長在所述第一層金剛石膜的形核面上，所述第一層金剛石膜和第二層金剛石膜的生長面位于兩端。本發(fā)明采用分步沉積的方法制備形核面位于多層金剛石厚膜內部、而生長面位于兩端表面的雙層柱狀晶結構，制備的多晶金剛石厚膜具有強度高、介電損耗低、內部缺陷少，生長面抗彎強度高的特點，且制備方法沉積效率高。