晶圓表面宏觀檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022278851.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213932603U 公開(kāi)（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213932603U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) G01D21/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 夏儒斐 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東舟技術(shù)（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳茂達(dá)智聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張凡
地址 100000 北京市海淀區(qū)東北旺西路8號(hào)中關(guān)村軟件園8號(hào)樓一層109、109B號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓表面宏觀檢測(cè)裝置，晶圓吸盤(pán)，開(kāi)設(shè)有氣道；自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與晶圓吸盤(pán)連接，用于帶動(dòng)晶圓吸盤(pán)作自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；X軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，與自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，用于帶動(dòng)自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)作X軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括直線模組，以及與直線模組連接的支撐桿，所述直線模組用于帶動(dòng)支撐桿作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，支撐桿與X軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)鉸接連接；Y軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括升降組件，以及與升降組件連接的第一鉸接件，第一鉸接件與X軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)鉸接連接，升降組件設(shè)于支撐桿上，升降組件用于帶動(dòng)第一鉸接件作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使得X軸旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)繞支撐桿作Y軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型提供的晶圓表面宏觀檢測(cè)裝置，可實(shí)現(xiàn)晶圓多個(gè)方向的旋轉(zhuǎn)，方便對(duì)晶圓進(jìn)行宏觀檢測(cè)，提高生產(chǎn)效率。