晶圓測試用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022300222.9 申請日 -
公開（公告）號 CN213875444U 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN213875444U 申請公布日 2021-08-03
分類號 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 夏儒斐 申請（專利權(quán)）人 東舟技術(shù)（深圳）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳茂達(dá)智聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張凡
地址 100000 北京市海淀區(qū)東北旺西路8號中關(guān)村軟件園8號樓一層109、109B號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓測試用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括基板、晶圓載物臺、傳動帶模組、旋轉(zhuǎn)微調(diào)裝置，所述晶圓載物臺、傳動帶模組、旋轉(zhuǎn)微調(diào)裝置設(shè)于基板上，所述晶圓載物臺與旋轉(zhuǎn)微調(diào)裝置通過傳動帶模組傳動連接；所述晶圓載物臺用于吸附晶圓，所述晶圓載物臺相對基板可轉(zhuǎn)動；所述傳動帶模組包括主動輪、從動輪以及傳動連接主動輪與從動輪的同步傳動帶，所述從動輪設(shè)于晶圓載物臺；所述旋轉(zhuǎn)微調(diào)裝置包括連接筒、轉(zhuǎn)軸以及旋鈕，所述連接筒設(shè)于基板，所述轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動的設(shè)于連接筒內(nèi)，所述轉(zhuǎn)軸上端連接主動輪，所述轉(zhuǎn)軸下端連接旋鈕。本實用新型提供的晶圓測試用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，檢測可靠性好。