晶圓位移傳動裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022278832.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212725263U | 公開（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請公布號 | CN212725263U | 申請公布日 | 2021-03-16 |
| 分類號 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 夏儒斐 | 申請（專利權(quán)）人 | 東舟技術(shù)（深圳）有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 深圳茂達智聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張凡 |
| 地址 | 100000 北京市海淀區(qū)東北旺西路8號中關(guān)村軟件園8號樓一層109、109B號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓位移傳動裝置，包括固定支撐機構(gòu)、設(shè)于固定支撐機構(gòu)上的XY軸位移機構(gòu)、設(shè)于XY軸位移機構(gòu)上的吸盤機構(gòu)，所述XY軸位移機構(gòu)包括X軸滑動裝置、Y軸滑動裝置，所述X軸滑動裝置、Y軸滑動裝置相對固定支撐機構(gòu)可快速滑動，從而快速調(diào)整吸盤機構(gòu)的位置；所述XY軸位移機構(gòu)還包括X軸微調(diào)裝置、Y軸微調(diào)裝置，所述X軸微調(diào)裝置、Y軸微調(diào)裝置均包括第一旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件、傳動連接第一旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件的傳動帶組件以及分離傳動組件，所述分離傳動組件一端可分離的連接傳動帶組件，另一端分別與X軸滑動裝置、Y軸滑動裝置傳動連接。本實用新型提供的晶圓位移傳動裝置，實現(xiàn)快速移動和精準移動兩種移動方式，檢測效率高，準確率高好。?? |
