一種基片表面檢測方法和設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811016795.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109211733B 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN109211733B 申請公布日 2021-04-06
分類號 G01N13/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳子天;李文濤 申請（專利權(quán)）人 賽納生物科技（北京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京萬象新悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇愛華
地址 102206北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)七街29號院7樓1層101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基片表面檢測方法和設(shè)備，利用基片同檢測液體之間的接觸線以及夾角的變化檢測基片的均勻性。本發(fā)明提供一種基片表面檢測方法和設(shè)備，其包括移動裝置，第一容器，第一液體，液面探測裝置；所述第一液體盛放在第一容器中；所述移動裝置用于使基片與第一液體產(chǎn)生相對運(yùn)動；所述液面探測裝置用于探測液體與基片之間的夾角。這種方法可以用于檢測基片表面的均勻性。本發(fā)明設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡單，造價(jià)低，檢測速度快等特點(diǎn)。??