一種半導(dǎo)體芯片電特性檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922106285.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN211206699U 公開(kāi)(公告)日 2020-08-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN211206699U 申請(qǐng)公布日 2020-08-07
分類(lèi)號(hào) G01R31/26 分類(lèi) -
發(fā)明人 金明星 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 穆棱市北一半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 穆棱市北一半導(dǎo)體科技有限公司
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體芯片電特性檢測(cè)裝置,包括固定座、支架、滑道、電機(jī)固定座、滑動(dòng)電機(jī)、滑桿、滑臺(tái)、芯片放置槽、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和控制器,所述支架設(shè)于固定座上,所述滑道設(shè)于支架上,所述電機(jī)固定座設(shè)于支架側(cè)壁上,所述滑動(dòng)電機(jī)設(shè)于電機(jī)固定座上,所述滑桿可滑動(dòng)設(shè)于電機(jī)固定座上,所述滑桿設(shè)于滑動(dòng)電機(jī)輸出端上,所述滑臺(tái)一端設(shè)于滑桿頂部,所述滑臺(tái)另一端可滑動(dòng)設(shè)于滑道內(nèi),所述芯片放置槽設(shè)于滑臺(tái)頂部,所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)設(shè)于支架頂部且設(shè)于芯片放置槽上方,所述控制器設(shè)于檢測(cè)機(jī)構(gòu)上。本實(shí)用新型屬于電子芯片生產(chǎn)裝置技術(shù)領(lǐng)域,具體是指一種檢測(cè)效率高、實(shí)時(shí)切換檢測(cè)點(diǎn)、多方位檢測(cè)的半導(dǎo)體芯片電特性檢測(cè)裝置。