一種多弧型帶材真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010106165.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111197156A 公開（公告）日 2020-05-26
申請公布號 CN111197156A 申請公布日 2020-05-26
分類號 C23C14/56;C23C14/32 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王殿儒;田玉波;王百湘;程云立;田源 申請（專利權(quán)）人 唐山中土科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京修典盛世知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 王殿儒;唐山中土科技發(fā)展有限公司
地址 100086 北京市海淀區(qū)北三環(huán)西路48號三號樓3B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種多弧型帶材真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)，該鍍膜系統(tǒng)用于卷繞帶材的鍍膜，所述鍍膜系統(tǒng)包括真空室，所述真空室中設(shè)置有入口真空鎖、電子槍、第一導(dǎo)向輪、滾輪、第二導(dǎo)向輪、移動桿、密封板、多弧離子源、第一真空鍍膜倉、第二真空鍍膜倉與出口真空鎖，所述帶材依次穿過所述入口真空鎖、第一導(dǎo)向輪、通氣口、第一真空鍍膜倉或第二真空鍍膜倉、滾輪、通氣口、第二導(dǎo)向輪與出口真空鎖，所述第一真空鍍膜倉與第二真空鍍膜倉交替用于帶材真空鍍膜，從而實現(xiàn)連續(xù)鍍膜。本發(fā)明的多弧型帶材真空連續(xù)鍍膜系統(tǒng)通過兩個真空鍍膜倉交替工作方式以實現(xiàn)真正地真空連續(xù)鍍膜。