一種鈀薄膜氫氣傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011581593.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112763660A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112763660A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | G01N33/00(2006.01)I;G01R31/12(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 沈方平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州芯鎂信電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 郝傳鑫;賈允 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市吳中區(qū)東吳北路8號(hào)國(guó)裕大廈一期1504-3室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種鈀薄膜氫氣傳感器，包括硅襯底、絕緣層、至少一個(gè)硅槽、鈀合金薄膜組件、屏蔽層與控溫組件；其中，鈀合金薄膜組件包括對(duì)稱設(shè)置的第一鈀合金薄膜與第二鈀合金薄膜；屏蔽層位于絕緣層上，并且還開(kāi)設(shè)吸收窗口，吸收窗口與第一鈀合金薄膜對(duì)應(yīng)設(shè)置，用于供第一鈀合金薄膜與氫氣接觸；控溫組件包括加熱線圈與測(cè)溫線圈，測(cè)溫線圈用于檢測(cè)鈀合金薄膜組件周圍的溫度，加熱線圈用于升高鈀合金薄膜組件周圍的溫度；硅槽與絕緣層相配合用于對(duì)鈀合金薄膜組件保溫。本發(fā)明采用對(duì)氫氣敏感度高的鈀合金，同時(shí)引入惠斯通電橋，大大提升了檢測(cè)精度；其特殊的立體結(jié)構(gòu)極大地提升了熱響應(yīng)速度，保溫效果好，靈敏度高。?? |
