一種低功耗MEMS氫氣傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023008094.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214041233U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214041233U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N27/16（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 馬可貞;沈方平;徐曉苗;吳楠 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州芯鎂信電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京常青藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 徐婧 |
| 地址 | 215128江蘇省蘇州市吳中區(qū)東吳北路8號(hào)國(guó)裕大廈一期1504-3室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種低功耗MEMS氫氣傳感器，包括襯底層、下絕緣層、金屬絲層和上絕緣層；襯底層表面開(kāi)隔熱槽，下絕緣層覆蓋于襯底層上，下絕緣層設(shè)有與隔熱槽對(duì)應(yīng)的鏤空窗口；金屬絲層包括貴金屬材質(zhì)的第一金屬絲和第二金屬絲，第一金屬絲為用作敏感單元的裸金屬絲，第二金屬絲為用作參比單元的、包裹有鈍化層的金屬絲；該第一金屬絲和第二金屬絲的兩端均設(shè)有用于引出信號(hào)的焊盤(pán)，焊盤(pán)固定于下絕緣層與上絕緣層之間；第一金屬絲和第二金屬絲的中部均設(shè)有懸置于隔熱槽上方的感測(cè)部；上絕緣層覆蓋于金屬絲層上。本實(shí)用新型可解決帶支撐結(jié)構(gòu)的低功耗氫氣傳感器導(dǎo)熱損耗大，以及金屬材料跟支撐材料間的熱失配而損壞結(jié)構(gòu)的問(wèn)題。 |
