一種低功耗MEMS氫氣傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023008094.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214041233U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN214041233U 申請公布日 2021-08-24
分類號 G01N27/16（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 馬可貞;沈方平;徐曉苗;吳楠 申請（專利權(quán)）人 蘇州芯鎂信電子科技有限公司
代理機構(gòu) 南京常青藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐婧
地址 215128江蘇省蘇州市吳中區(qū)東吳北路8號國裕大廈一期1504-3室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種低功耗MEMS氫氣傳感器，包括襯底層、下絕緣層、金屬絲層和上絕緣層；襯底層表面開隔熱槽，下絕緣層覆蓋于襯底層上，下絕緣層設(shè)有與隔熱槽對應(yīng)的鏤空窗口；金屬絲層包括貴金屬材質(zhì)的第一金屬絲和第二金屬絲，第一金屬絲為用作敏感單元的裸金屬絲，第二金屬絲為用作參比單元的、包裹有鈍化層的金屬絲；該第一金屬絲和第二金屬絲的兩端均設(shè)有用于引出信號的焊盤，焊盤固定于下絕緣層與上絕緣層之間；第一金屬絲和第二金屬絲的中部均設(shè)有懸置于隔熱槽上方的感測部；上絕緣層覆蓋于金屬絲層上。本實用新型可解決帶支撐結(jié)構(gòu)的低功耗氫氣傳感器導熱損耗大，以及金屬材料跟支撐材料間的熱失配而損壞結(jié)構(gòu)的問題。