分離裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910703372.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112310240A | 公開（公告）日 | 2021-02-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112310240A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-02 |
| 分類號(hào) | H01L31/18(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 鄒金成;王敬苗;申兵兵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東泰高科裝備科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 羅蔓 |
| 地址 | 102209北京市昌平區(qū)科技園區(qū)中興路10號(hào)A129-1室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種分離裝置。分離裝置包括：固定機(jī)構(gòu)，包括固定吸板組件和輔助吸附平臺(tái)，固定吸板組件為叉狀結(jié)構(gòu)，固定吸板組件相對(duì)輔助吸附平臺(tái)固定設(shè)置，輔助吸附平臺(tái)包括輔助吸板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)輔助吸板相對(duì)固定吸板組件移動(dòng)；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動(dòng)組件和薄膜吸附組件；薄膜吸附組件的吸附平面具有與固定吸板組件和輔助吸附平臺(tái)的吸附平面相對(duì)，且薄膜吸附組件的吸附平面與固定吸板組件的吸附平面相貼合的結(jié)合位置；薄膜吸附組件的吸附平面具有與固定吸板組件和輔助吸附平臺(tái)的吸附平面相互分離的分離位置。本發(fā)明的分離裝置能夠提高晶片和薄膜的分離成功率。?? |
