分離裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910703372.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112310240A 公開（公告）日 2021-02-02
申請公布號 CN112310240A 申請公布日 2021-02-02
分類號 H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄒金成;王敬苗;申兵兵 申請（專利權(quán)）人 東泰高科裝備科技有限公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 代理人 羅蔓
地址 102209北京市昌平區(qū)科技園區(qū)中興路10號A129-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種分離裝置。分離裝置包括：固定機構(gòu)，包括固定吸板組件和輔助吸附平臺，固定吸板組件為叉狀結(jié)構(gòu)，固定吸板組件相對輔助吸附平臺固定設置，輔助吸附平臺包括輔助吸板和驅(qū)動機構(gòu)，驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動輔助吸板相對固定吸板組件移動；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，包括驅(qū)動組件和薄膜吸附組件；薄膜吸附組件的吸附平面具有與固定吸板組件和輔助吸附平臺的吸附平面相對，且薄膜吸附組件的吸附平面與固定吸板組件的吸附平面相貼合的結(jié)合位置；薄膜吸附組件的吸附平面具有與固定吸板組件和輔助吸附平臺的吸附平面相互分離的分離位置。本發(fā)明的分離裝置能夠提高晶片和薄膜的分離成功率。??