單晶硅片精確端面磨切機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720583525.1 申請日 -
公開（公告）號 CN206780128U 公開（公告）日 2017-12-22
申請公布號 CN206780128U 申請公布日 2017-12-22
分類號 B24B27/06(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 孫明祥 申請（專利權(quán)）人 浙江好亞能源股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 嘉興海創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭文濤
地址 314419 浙江省寧波市浙江海寧經(jīng)編產(chǎn)業(yè)園區(qū)滄海路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及單晶硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，公開了一種單晶硅片精確端面磨切機(jī)，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有滑板(7)和砂輪(1)，滑板(7)沿著機(jī)體長度方向滑動，硅棒放置在所述滑板(7)上，機(jī)體上還設(shè)有軸向基準(zhǔn)塊(2)，軸向基準(zhǔn)塊(2)位于砂輪(1)的兩側(cè)，所述的軸向基準(zhǔn)塊(2)的凸起高度低于砂輪(1)的凸起高度，軸向基準(zhǔn)塊(2)的凸起高度與砂輪(1)凸起高度之間的差值為硅棒被磨切掉的長度，還包括電機(jī)(13)、皮帶(14)和傳動軸(15)，電機(jī)(13)通過皮帶(14)帶動傳動軸(15)轉(zhuǎn)動。本實(shí)用新型由于采用了以上技術(shù)方案，采用了砂輪磨切替代傳統(tǒng)鋼絲切割，可使硅片切割平整，硅片厚度一致。