一種高通量植入式柔性神經(jīng)電極的制備方法及其結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010860818.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112107307A | 公開（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申請公布號(hào) | CN112107307A | 申請公布日 | 2020-12-22 |
| 分類號(hào) | A61B5/04(2006.01)I;A61B5/0478(2006.01)I | 分類 | 醫(yī)學(xué)或獸醫(yī)學(xué)；衛(wèi)生學(xué); |
| 發(fā)明人 | 陶虎;楊會(huì)然;周志濤;魏曉玲 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海腦虎科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 郝傳鑫;賈允 |
| 地址 | 200001 上海市黃浦區(qū)制造局路787號(hào)1號(hào)樓、2號(hào)樓、3號(hào)樓（集中登記地） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請實(shí)施例所公開的高通量植入式柔性神經(jīng)電極的制備方法及其結(jié)構(gòu)，方法包括制備襯底及在襯底上制備多個(gè)電極區(qū)組，每個(gè)電極區(qū)組含有第一電極區(qū)、第二電極區(qū)和第三電極區(qū)，每個(gè)電極區(qū)含有第一預(yù)設(shè)數(shù)量的電極，在襯底的多個(gè)待制備區(qū)域上制備第一絕緣層，在第一電極區(qū)上制備第一金屬布線層，在第一金屬布線層上制備第二絕緣層，在第二電極區(qū)上制備第二金屬布線層，在第二絕緣層和第二金屬布線層上制備第三絕緣層，在第三電極區(qū)上制備第三金屬布線層，在第二絕緣層、第三絕緣層和第三金屬布線層上制備第四絕緣層，沿釋放面剝離襯底，得到單一神經(jīng)電極單元，將第二預(yù)設(shè)數(shù)量的單一神經(jīng)電極單元與電路板連接，得到高通量植入式柔性神經(jīng)電極。?? |
