一種高通量植入式柔性神經(jīng)電極的制備方法及其結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010860818.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112107307B 公開（公告）日 2021-05-25
申請公布號 CN112107307B 申請公布日 2021-05-25
分類號 A61B5/263(2021.01)I;A61B5/262(2021.01)I;A61B5/293(2021.01)I 分類 醫(yī)學或獸醫(yī)學；衛(wèi)生學;
發(fā)明人 陶虎;楊會然;周志濤;魏曉玲 申請（專利權）人 上海腦虎科技有限公司
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 200001 上海市黃浦區(qū)制造局路787號1號樓、2號樓、3號樓（集中登記地）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例所公開的高通量植入式柔性神經(jīng)電極的制備方法及其結構，方法包括制備襯底及在襯底上制備多個電極區(qū)組，每個電極區(qū)組含有第一電極區(qū)、第二電極區(qū)和第三電極區(qū)，每個電極區(qū)含有第一預設數(shù)量的電極，在襯底的多個待制備區(qū)域上制備第一絕緣層，在第一電極區(qū)上制備第一金屬布線層，在第一金屬布線層上制備第二絕緣層，在第二電極區(qū)上制備第二金屬布線層，在第二絕緣層和第二金屬布線層上制備第三絕緣層，在第三電極區(qū)上制備第三金屬布線層，在第二絕緣層、第三絕緣層和第三金屬布線層上制備第四絕緣層，沿釋放面剝離襯底，得到單一神經(jīng)電極單元，將第二預設數(shù)量的單一神經(jīng)電極單元與電路板連接，得到高通量植入式柔性神經(jīng)電極。??