一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201710032686.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106698323A | 公開(kāi)（公告）日 | 2017-05-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106698323A | 申請(qǐng)公布日 | 2017-05-24 |
| 分類號(hào) | B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L31/0203(2014.01)I;H01L31/09(2006.01)I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 趙柱;毛海央 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京芯創(chuàng)睿勝科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 殷紅梅 |
| 地址 | 102218 北京市昌平區(qū)東小口鎮(zhèn)立湯路186號(hào)甲龍德紫金3號(hào)樓4層421 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及集成方法，尤其是一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法，具體地說(shuō)是一種基于燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)的紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法，屬于紅外傳感探測(cè)的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述紅外吸收結(jié)構(gòu)，包括襯底以及設(shè)置于所述襯底上的燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)層。本發(fā)明利用燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)層能實(shí)現(xiàn)對(duì)紅外輻射的有效吸收，能在較寬的紅外波段內(nèi)具有較高的吸收效率，制備方法簡(jiǎn)單，兼容性以及可控性好，在與紅外傳感器裸芯片集成后，能提高紅外探測(cè)的精度，集成方法簡(jiǎn)單，適用范圍廣，安全可靠。 |
