一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710032686.6 申請日 -
公開（公告）號 CN106698323A 公開（公告）日 2017-05-24
申請公布號 CN106698323A 申請公布日 2017-05-24
分類號 B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L31/0203(2014.01)I;H01L31/09(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 趙柱;毛海央 申請（專利權(quán)）人 北京芯創(chuàng)睿勝科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 殷紅梅
地址 102218 北京市昌平區(qū)東小口鎮(zhèn)立湯路186號甲龍德紫金3號樓4層421
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及集成方法，尤其是一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法，具體地說是一種基于燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)的紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法，屬于紅外傳感探測的技術(shù)領(lǐng)域。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案，所述紅外吸收結(jié)構(gòu)，包括襯底以及設(shè)置于所述襯底上的燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)層。本發(fā)明利用燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)層能實(shí)現(xiàn)對紅外輻射的有效吸收，能在較寬的紅外波段內(nèi)具有較高的吸收效率，制備方法簡單，兼容性以及可控性好，在與紅外傳感器裸芯片集成后，能提高紅外探測的精度，集成方法簡單，適用范圍廣，安全可靠。