一種晶元紋理圖像周期的自動(dòng)測(cè)量方法和系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910017997.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109781736A 公開(kāi)(公告)日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN109781736A 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) G01N21/88;G06T5/00 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 楊義祿;左右祥;李波;關(guān)玉萍 申請(qǐng)(專利權(quán))人 肇慶農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司新橋支行
代理機(jī)構(gòu) 廣州維智林專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 趙曉慧
地址 526238 廣東省肇慶市高新區(qū)同富裕工業(yè)園C棟首、二層和B棟首層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種晶元紋理圖像周期的自動(dòng)測(cè)量方法和系統(tǒng),包括以下步驟:首先采集到的周期紋理圖像進(jìn)行高斯濾波,已達(dá)到過(guò)濾信號(hào)噪聲的目的。接下來(lái)對(duì)高斯濾波后的圖像進(jìn)行二維快速傅里葉變換,得到圖像的頻譜和相位,然后對(duì)頻譜和相位在頻域計(jì)算自相關(guān)。對(duì)求取自相關(guān)的結(jié)果進(jìn)行求取局部極大值坐標(biāo),最后根據(jù)極大值坐標(biāo)求出紋理圖像的周期。本發(fā)明基于頻域自相關(guān)的方法快速計(jì)算出晶元紋理圖像的周期,精度高,速度快,魯棒性好。