一種晶元紋理圖像周期的自動測量方法和系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910017997.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109781736B 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN109781736B 申請公布日 2021-07-06
分類號 G01N21/88;G06T5/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 楊義祿;左右祥;李波;關玉萍 申請（專利權）人 肇慶農(nóng)村商業(yè)銀行股份有限公司新橋支行
代理機構 廣州維智林專利代理事務所（普通合伙） 代理人 趙曉慧
地址 526238 廣東省肇慶市高新區(qū)同富裕工業(yè)園C棟首、二層和B棟首層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶元紋理圖像周期的自動測量方法和系統(tǒng)，包括以下步驟：首先采集到的周期紋理圖像進行高斯濾波，已達到過濾信號噪聲的目的。接下來對高斯濾波后的圖像進行二維快速傅里葉變換，得到圖像的頻譜和相位，然后對頻譜和相位在頻域計算自相關。對求取自相關的結果進行求取局部極大值坐標，最后根據(jù)極大值坐標求出紋理圖像的周期。本發(fā)明基于頻域自相關的方法快速計算出晶元紋理圖像的周期，精度高，速度快，魯棒性好。