一種光刻版及其實(shí)現(xiàn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110000632.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102087470A 公開(kāi)（公告）日 2011-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN102087470A 申請(qǐng)公布日 2011-06-08
分類號(hào) G03F1/14(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 關(guān)世瑛;楊忠武;王金秋;趙暉;冷國(guó)慶;任宏志 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 黑龍江八達(dá)通用微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 150078 黑龍江省哈爾濱市開(kāi)發(fā)區(qū)迎賓路集中區(qū)天平路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種步進(jìn)式光刻機(jī)的光刻版及其實(shí)現(xiàn)方法，該發(fā)明結(jié)合步進(jìn)式光刻機(jī)的工作特點(diǎn)，采用將光刻版BLOK區(qū)(0)中步進(jìn)疊加區(qū)(5)及標(biāo)記疊加區(qū)(2)保護(hù)處理，將其套準(zhǔn)標(biāo)記(1)布局在窄的劃片線(3)內(nèi)，不占用主管芯(4)面積，較只能將標(biāo)記設(shè)計(jì)在寬的劃片線或者是占用主管芯位置的光刻版，可以提高芯片的利用率。