一種光刻版

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120000925.8 申請日 -
公開（公告）號 CN201945799U 公開（公告）日 2011-08-24
申請公布號 CN201945799U 申請公布日 2011-08-24
分類號 G03F1/14(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 關(guān)世瑛;楊忠武;王金秋;趙暉;冷國慶;任宏志 申請（專利權(quán)）人 黑龍江八達通用微電子有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 150078 黑龍江省哈爾濱市開發(fā)區(qū)迎賓路集中區(qū)天平路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種步進式光刻機的光刻版，該光刻版結(jié)合步進式光刻機的工作特點，采用將光刻版BLOK區(qū)(0)中步進疊加區(qū)(5)及標記疊加區(qū)(2)保護處理，將其套準標記(1)布局在窄的劃片線(3)內(nèi)，不占用主管芯(4)面積，較只能將標記設(shè)計在寬的劃片線或者是占用主管芯位置的光刻版，可以提高芯片的利用率。