一種針對(duì)半導(dǎo)體材料硅片加工的輔助裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011570533.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112720121A 公開（公告）日 2021-04-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN112720121A 申請(qǐng)公布日 2021-04-30
分類號(hào) B24B7/22;B24B29/02;B24B55/06;H01L21/687;H01L21/67 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 吳衛(wèi)玲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣州金彩網(wǎng)絡(luò)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 510632 廣東省廣州市天河區(qū)黃埔大道西365號(hào)1409室A418
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種針對(duì)半導(dǎo)體材料硅片加工的輔助裝置，包括框體，所述框體的左側(cè)中間固定連接有支撐座，所述支撐座的右側(cè)固定連接有電磁線圈，所述電磁線圈的右端活動(dòng)連接有磁鐵塊，所述磁鐵塊的右端固定連接有傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的右端固定連接有夾持結(jié)構(gòu)，所述夾持結(jié)構(gòu)的右端活動(dòng)連接有清潔結(jié)構(gòu)，所述清潔結(jié)構(gòu)上方固定連接有拋光結(jié)構(gòu)。通過拋光結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)改變電磁線圈中電流的大小，來改變對(duì)磁鐵塊的引力大小，通過傳動(dòng)結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)夾持力大小適應(yīng)不同的加工需求，此外通過傳動(dòng)結(jié)構(gòu)帶動(dòng)清潔結(jié)構(gòu)工作，從而達(dá)到了加工自動(dòng)調(diào)節(jié)夾持力度、避免表面劃傷、清潔粉塵、提高質(zhì)量的有益效果。