一種膜狀擴散源成型機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010353492.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112466746A 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN112466746A 申請公布日 2021-03-09
分類號 H01L21/22(2006.01)I;B05B3/18(2006.01)I;B26D1/40(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪良恩;王錫康;姜蘭虎;喬建明;王桂芝 申請（專利權(quán)）人 山東芯源微電子有限公司
代理機構(gòu) 山東瑞宸知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山東省濟南市章丘區(qū)清源大街北段路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種膜狀擴散源成型機，主要涉及半導(dǎo)體膜生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括底座、機架，在所述底座上設(shè)有成膜傳送輥，在所述成膜傳送輥一端設(shè)有噴涂裝置、另一端設(shè)有分切裝置，在所述噴涂裝置一側(cè)設(shè)有烘干裝置，提高了橫梁運動方向的約束，使得運動和行程不易受外部影響，使得噴頭在噴涂是更加均勻，既提高了烘干效率，又使水汽能夠及時的排出，保證了烘干的質(zhì)量提高，增加了烘干裝置的空間利用度，使得膜烘干過程更加高效、節(jié)能和環(huán)保，滑動套在導(dǎo)向軸的作用下，使得滑動套底端固接的切刀座上的切刀片在平輥帶上進行切割，形成傾斜直線角度切割，調(diào)節(jié)快速便捷，導(dǎo)向傳動的作用較穩(wěn)定提高膜分切機分切產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。??