一種用于半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源的裁切刀具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022640038.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213616933U 公開（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN213616933U 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) B26D1/44;B26D7/02;B26D7/26 分類 手動(dòng)切割工具；切割；切斷;
發(fā)明人 汪良恩;王錫康;姜蘭虎;喬建明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東芯源微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 張貴賓
地址 250200 山東省濟(jì)南市章丘區(qū)清源大街北段路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及了一種用于半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源的裁切刀具，包括刀具安裝頭、刀具、壓片和回彈結(jié)構(gòu)；刀具安裝頭包括一體連接的連接桿和刀具安裝柱，連接桿用于與壓力機(jī)的活動(dòng)工作端固定連接；刀具用于將待加工的大塊半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源切割為圓片狀的半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源成品，刀具固定在刀具安裝頭的刀具安裝柱的底部；壓片通過回彈結(jié)構(gòu)與刀具安裝柱相連，用于按壓刀具正對(duì)區(qū)域中的半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源。本技術(shù)方案用于與壓力機(jī)配合使用，通過壓片按壓刀具正對(duì)區(qū)域中的半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源，避免了裁切過程中紙膜起皺、粘刀的現(xiàn)象，大大降低了次品率。