一種用于半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源的半自動(dòng)裁切設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022640040.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213617132U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213617132U 申請公布日 2021-07-06
分類號 B26F1/44;B26D5/12;B26D5/06;B26D7/02;B26D7/26;B26D7/20 分類 手動(dòng)切割工具；切割；切斷;
發(fā)明人 汪良恩;王錫康;姜蘭虎;喬建明 申請（專利權(quán)）人 山東芯源微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 張貴賓
地址 250200 山東省濟(jì)南市章丘區(qū)清源大街北段路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及了一種用于半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源的半自動(dòng)裁切設(shè)備，包括底座、橫梁裝置、Z軸裝置、液壓站、控制系統(tǒng)和手動(dòng)操控盒；底座包括光滑平整的工作臺面，工作臺面用于承載大塊半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源；Z軸裝置包括安裝板、液壓缸和裁切刀具，液壓缸的活塞桿沿Z軸伸縮動(dòng)作；裁切刀具包括刀具安裝頭、刀具、壓片和回彈結(jié)構(gòu)；刀具用于將待加工的大塊半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源切割為圓片狀的半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源成品，壓片通過回彈結(jié)構(gòu)與刀具安裝柱相連，用于按壓刀具正對區(qū)域中的半導(dǎo)體膜狀擴(kuò)散源；液壓缸通過電磁閥和液壓管與液壓站相連，液壓缸的動(dòng)作通過手動(dòng)操控盒進(jìn)行控制。采用本技術(shù)方案，可以使加工原料的利用率最大化、降低連續(xù)生產(chǎn)的次品率。