一種膜成型機(jī)壓輥橫梁裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020682928.3 申請日 -
公開（公告）號 CN212736763U 公開（公告）日 2021-03-19
申請公布號 CN212736763U 申請公布日 2021-03-19
分類號 B29C43/24(2006.01)I;B29L7/00(2006.01)N;B29C43/32(2006.01)I;B29C43/46(2006.01)I 分類 塑料的加工；一般處于塑性狀態(tài)物質(zhì)的加工;
發(fā)明人 汪良恩;王錫康;姜蘭虎;喬建明;王桂芝 申請（專利權(quán)）人 山東芯源微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 山東瑞宸知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王萍
地址 250200山東省濟(jì)南市章丘區(qū)清源大街北段路西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種膜成型機(jī)壓輥橫梁裝置，主要涉及半導(dǎo)體膜生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括導(dǎo)軌I、導(dǎo)軌V、支架，通過導(dǎo)軌I、導(dǎo)軌V雙軌道導(dǎo)向更加穩(wěn)定，在所述導(dǎo)軌I、導(dǎo)軌V上下均的上導(dǎo)輪、下導(dǎo)輪，實(shí)現(xiàn)上下的固定約束導(dǎo)向，通過張緊彈簧、左調(diào)輪、右調(diào)輪實(shí)現(xiàn)水平方向的約束回復(fù)，并通過張緊彈簧增加上導(dǎo)輪、下導(dǎo)輪對導(dǎo)軌I或?qū)к塚的摩擦，在所述支架兩端和中間軸設(shè)有導(dǎo)孔，固定導(dǎo)線穿過導(dǎo)孔固定在膜成型機(jī)架上，通過膜成型機(jī)架上的固定導(dǎo)線穿過中間軸上的導(dǎo)孔進(jìn)一步的實(shí)現(xiàn)支架的導(dǎo)向固定，提高了支架橫梁運(yùn)動方向的約束，使得運(yùn)動和行程不易受外部影響，使得噴頭在噴涂是更加均勻。??