一種用于半導(dǎo)體膜狀擴散源的半自動裁切設(shè)備
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011276530.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112318618A | 公開（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請公布號 | CN112318618A | 申請公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號 | B26F1/44(2006.01)I; | 分類 | 手動切割工具；切割；切斷; |
| 發(fā)明人 | 汪良恩;王錫康;姜蘭虎;喬建明 | 申請（專利權(quán)）人 | 山東芯源微電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 濟南泉城專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 張貴賓 |
| 地址 | 250200山東省濟南市章丘區(qū)清源大街北段路西 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及了一種用于半導(dǎo)體膜狀擴散源的半自動裁切設(shè)備，包括底座、橫梁裝置、Z軸裝置、液壓站、控制系統(tǒng)和手動操控盒；底座包括光滑平整的工作臺面，工作臺面用于承載大塊半導(dǎo)體膜狀擴散源；Z軸裝置包括安裝板、液壓缸和裁切刀具，液壓缸的活塞桿沿Z軸伸縮動作；裁切刀具包括刀具安裝頭、刀具、壓片和回彈結(jié)構(gòu)；刀具用于將待加工的大塊半導(dǎo)體膜狀擴散源切割為圓片狀的半導(dǎo)體膜狀擴散源成品，壓片通過回彈結(jié)構(gòu)與刀具安裝柱相連，用于按壓刀具正對區(qū)域中的半導(dǎo)體膜狀擴散源；液壓缸通過電磁閥和液壓管與液壓站相連，液壓缸的動作通過手動操控盒進行控制。采用本技術(shù)方案，可以使加工原料的利用率最大化、降低連續(xù)生產(chǎn)的次品率。?? |
