一種電子顯微鏡的自動對焦方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111598125.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114167594A 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN114167594A 申請公布日 2022-03-11
分類號 G02B21/24（2006.01）I;G02B7/38（2021.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 鄭陸一;何濤 申請（專利權(quán)）人 湖南伊鴻健康科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州智斧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊銀虎
地址 410000湖南省長沙市岳麓區(qū)學(xué)士街道碧桂園智慧園第13幢103號、104號房屋
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電子顯微鏡的自動對焦方法，屬于顯微鏡對焦技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括一次對焦行程和二次對焦行程，一次對焦行程找出最清晰位置z1及其圖像清晰度值fz1max；二次對焦行程過程中，判斷當(dāng)前步進位置的圖像清晰度值fv是否滿足不等式abs（fv?fz1max）/fz1max