一種基板翻轉(zhuǎn)對(duì)中裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210455202.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103811397B 公開（公告）日 2016-06-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN103811397B 申請(qǐng)公布日 2016-06-01
分類號(hào) H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司;沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)旭日路501號(hào)1幢201、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中對(duì)基板處理的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種基板翻轉(zhuǎn)對(duì)中裝置。包括保持部II、保持部I、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部、平移驅(qū)動(dòng)部、控制部I、控制部II、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)I及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)II，其中保持部II和保持部I通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)II與平移驅(qū)動(dòng)部連接，通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)I與翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部連接，所述保持部II和保持部I通過(guò)平移驅(qū)動(dòng)部和翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)基板的對(duì)中與翻轉(zhuǎn)；所述平移驅(qū)動(dòng)部和翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部分別與控制部II和控制部I連接。本發(fā)明可以不占用機(jī)械手臂輸送時(shí)間的情況下實(shí)現(xiàn)晶圓的翻轉(zhuǎn)對(duì)中，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制靈活。