一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310368461.X 申請日 -
公開（公告）號 CN104415579B 公開（公告）日 2016-03-16
申請公布號 CN104415579B 申請公布日 2016-03-16
分類號 B01D19/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 程虎 申請（專利權(quán)）人 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司;沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)旭日路501號1幢201、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中對流體處理的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置，包括：緩沖容器、介質(zhì)容器、超聲波換能器、換能器控制部、總控制部；所述緩沖容器浸入介質(zhì)容器的介質(zhì)中，超聲波換能器安裝于介質(zhì)容器外壁，并與換能器控制部連接；換能器控制部與總控制部連接；其方法包括：總控制部根據(jù)各檢測器的反饋信息控制超聲波換能器和各自動閥使緩沖容器內(nèi)的流體完成脫泡處理。本發(fā)明可以不占用單獨(dú)時間進(jìn)行流體的脫泡，并且工作時緩沖容器內(nèi)壓力恒定，保證出液口的流量恒定，液體供給、氣體排放均為自動控制，本發(fā)明效率高、穩(wěn)定性好、控制方便。