一種晶片濕法處理設(shè)備送風(fēng)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711155443.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109817542A 公開（公告）日 2019-05-28
申請公布號 CN109817542A 申請公布日 2019-05-28
分類號 H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 谷德君;尹寧 申請（專利權(quán)）人 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 汪海
地址 201306 上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)旭日路501號1幢201、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體行業(yè)晶片濕法處理領(lǐng)域，具體地說是一種晶片濕法處理設(shè)備送風(fēng)結(jié)構(gòu)，包括進(jìn)風(fēng)口、上箱體和下箱體，所述進(jìn)風(fēng)口設(shè)置于下箱體一端，所述上箱體扣置于所述下箱體上，在所述上箱體下側(cè)設(shè)有上箱體斜底板，且所述上箱體斜底板與所述下箱體一起形成一個閉合的楔形通風(fēng)空間，所述下箱體下側(cè)設(shè)有過濾紙板，空氣由所述進(jìn)風(fēng)口進(jìn)入，并經(jīng)過所述楔形通風(fēng)空間后由所述過濾紙板吹出。本發(fā)明采用上箱體和下箱體結(jié)構(gòu)，且上箱體斜底板和下箱體一起圍合成一個可調(diào)的楔形通風(fēng)空間，保證過濾紙板均勻出風(fēng)。