一種基板翻轉對中裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210455202.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103811397A 公開（公告）日 2014-05-21
申請公布號 CN103811397A 申請公布日 2014-05-21
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 程虎 申請（專利權）人 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
代理機構 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 沈陽芯源微電子設備有限公司;沈陽芯源微電子設備股份有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)旭日路501號1幢201、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體處理系統(tǒng)中對基板處理的技術領域，具體地說是一種基板翻轉對中裝置。包括保持部II、保持部I、翻轉驅動部、平移驅動部、控制部I、控制部II、傳動機構I及傳動機構II，其中保持部II和保持部I通過傳動機構II與平移驅動部連接，通過傳動機構I與翻轉驅動部連接，所述保持部II和保持部I通過平移驅動部和翻轉驅動部的驅動，實現對基板的對中與翻轉；所述平移驅動部和翻轉驅動部分別與控制部II和控制部I連接。本發(fā)明可以不占用機械手臂輸送時間的情況下實現晶圓的翻轉對中，結構簡單，控制靈活。