一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置和方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310368461.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104415579A 公開(kāi)（公告）日 2015-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN104415579A 申請(qǐng)公布日 2015-03-18
分類(lèi)號(hào) B01D19/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 程虎 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司;沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
地址 201306 上海市浦東新區(qū)臨港新片區(qū)旭日路501號(hào)1幢201、202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中對(duì)流體處理的技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種半導(dǎo)體處理系統(tǒng)中的流體脫泡裝置，包括：緩沖容器、介質(zhì)容器、超聲波換能器、換能器控制部、總控制部；所述緩沖容器浸入介質(zhì)容器的介質(zhì)中，超聲波換能器安裝于介質(zhì)容器外壁，并與換能器控制部連接；換能器控制部與總控制部連接；其方法包括：總控制部根據(jù)各檢測(cè)器的反饋信息控制超聲波換能器和各自動(dòng)閥使緩沖容器內(nèi)的流體完成脫泡處理。本發(fā)明可以不占用單獨(dú)時(shí)間進(jìn)行流體的脫泡，并且工作時(shí)緩沖容器內(nèi)壓力恒定，保證出液口的流量恒定，液體供給、氣體排放均為自動(dòng)控制，本發(fā)明效率高、穩(wěn)定性好、控制方便。