一種生產(chǎn)多孔海綿類金屬的設(shè)備和工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN01128040.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN1341773A 公開(kāi)（公告）日 2002-03-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN1341773A 申請(qǐng)公布日 2002-03-27
分類號(hào) C23C14/35;C23C14/14;C22C1/08;C22C1/08;C23C14/14;C23C14/35 分類 冶金；黑色或有色金屬合金；合金或有色金屬的處理;
發(fā)明人 付超;劉敏;王毓民;鄭恩濤;魏海波;李爽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 沈陽(yáng)金昌普新材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)市科威專利代理有限責(zé)任公司 代理人 于菲
地址 110179中國(guó)沈陽(yáng)市渾南新區(qū)世紀(jì)路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多孔類海綿金屬的生產(chǎn)設(shè)備和工藝,它包括殼體及與殼體相連接的真空系統(tǒng),殼體上開(kāi)有門,并設(shè)有推拉式小車,磁控濺射陰極、卷繞裝置及門體安裝在小車上,磁控濺射陰極分兩列平行安裝,每列至少包含有一個(gè)靶極,卷繞機(jī)構(gòu)包括由電機(jī)拖動(dòng)的收、放料輥筒和牽引輥,在收、放料輥筒與牽引輥之問(wèn)安裝有過(guò)渡輥,并裝有線速度傳感器,牽引輥的徑向表面上設(shè)有壓力輥。被鍍物在磁控濺射區(qū)域內(nèi)所受力除被鍍物自身的重力之外,其橫斷面的拉力近似于零,所以被鍍物不會(huì)產(chǎn)生變形,完全適合于海綿類物體的鍍制要求?？梢砸淮涡酝瓿蓛擅娴哪渝冎?生產(chǎn)效率高,成本低,適合于工業(yè)化生產(chǎn)。由于兩排靶極平行安裝,且與被鍍物平行,所以鍍制的膜層均勻。