熱交換晶體生長系統(tǒng)、冷卻氣體流量控制方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410436153.0 申請日 -
公開（公告）號 CN105369349B 公開（公告）日 2018-11-09
申請公布號 CN105369349B 申請公布日 2018-11-09
分類號 C30B27/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;廖永建;汪海波 申請（專利權(quán)）人 蘇州恒嘉晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州恒嘉晶體材料有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)丹桂路799號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種冷卻氣體流量控制方法，所述的冷卻氣體流量控制方法用于熱交換晶體生長系統(tǒng)的冷卻氣體流量控制，所述的方法包括以下步驟：11)獲取冷卻氣體熱交換后的溫度以及冷卻氣體當(dāng)前流量；12)根據(jù)冷卻氣體熱交換后的溫度和預(yù)設(shè)傳熱速率計(jì)算冷卻氣體目標(biāo)流量；13)調(diào)節(jié)冷卻氣體當(dāng)前流量趨向于冷卻氣體目標(biāo)流量。本發(fā)明還提供了一種冷卻氣體流量控制裝置，以及具有該裝置的熱交換晶體生長系統(tǒng)。上述方案能夠解決目前通過冷卻氣體流量?時間關(guān)系曲線控制冷卻氣體流量來實(shí)現(xiàn)晶體生長所存在適應(yīng)性和晶體一致性較差的問題。