一種襯底片厚度檢測裝置及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110826577.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113390354A 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號(hào) CN113390354A 申請公布日 2021-09-14
分類號(hào) G01B11/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐永亮;孫磊;于海群;陸兵;黃燕;陳宇超 申請（專利權(quán)）人 蘇州恒嘉晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 逯長明;許偉群
地址 215699江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)楊舍鎮(zhèn)晨豐公路357號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N襯底片厚度檢測裝置及測量方法，通過安裝在機(jī)架臺(tái)面上的感應(yīng)陶瓷盤傳感器，對陶瓷盤進(jìn)行感應(yīng)，當(dāng)感應(yīng)到陶瓷盤之后驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)臺(tái)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，使得旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上的陶瓷盤平穩(wěn)的勻速旋轉(zhuǎn)，然后通過光譜共焦傳感器測量出與陶瓷盤上襯底片上表面的距離，以及與陶瓷盤上表面的距離，通過光譜共焦傳感器與陶瓷盤上表面的距離以及光譜共焦傳感器與陶瓷盤上襯底片上表面的距離作差即可得陶瓷盤上襯底片的厚度值。該裝置，能夠在整個(gè)測量過程，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化操作，可以節(jié)省人力，避免傳統(tǒng)技術(shù)中測量精度受人工因素影響較大的問題，且本申請中的技術(shù)無需人工記錄數(shù)據(jù)，需要的數(shù)據(jù)直接從光譜共焦傳感器中導(dǎo)出，避免記錄數(shù)據(jù)時(shí)出錯(cuò)。