MEMS繼電器、懸臂梁開關(guān)及其形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410151001.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103943420B 公開（公告）日 2017-06-23
申請公布號 CN103943420B 申請公布日 2017-06-23
分類號 H01H59/00;H01H49/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 阮勇;馬波;常雙凱;張高飛;尤政 申請（專利權(quán)）人 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 清華大學
地址 100084 北京市海淀區(qū)100084-82信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS繼電器，包括：至少一個懸臂梁開關(guān)對，其包括兩個呈軸對稱分布且自由端位置鄰近的懸臂梁開關(guān)，每個懸臂梁開關(guān)包括：懸臂結(jié)構(gòu)；與懸臂結(jié)構(gòu)的固定端相連的驅(qū)動上電極；位于懸臂結(jié)構(gòu)下方的驅(qū)動下電極；位于懸臂結(jié)構(gòu)的自由端的且與其絕緣的開關(guān)動觸點；位于開關(guān)動觸點下方的兩個開關(guān)靜觸點；開關(guān)引線，開關(guān)引線與開關(guān)靜觸點相連，用于輸出控制信號，其中，當兩個懸臂梁開關(guān)為并聯(lián)時，開關(guān)引線包括呈中心對稱分布的兩個F形引線；其中，當兩個懸臂梁開關(guān)為串聯(lián)時，開關(guān)引線包括呈軸對稱分布的一個U形引線和兩個L形引線。本發(fā)明的MEMS繼電器具有布局緊湊，承載電壓或承載功率高的優(yōu)點。本發(fā)明還公開了一種懸臂梁開關(guān)及其形成方法。