具有原子蒸氣腔室的MEMS器件及其形成方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410400532.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104229719B 公開(kāi)（公告）日 2016-08-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN104229719B 申請(qǐng)公布日 2016-08-24
分類號(hào) B81B7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 阮勇;韓潤(rùn)奇;尤政;馬波 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 清華大學(xué)
地址 100084 北京市海淀區(qū)100084-82信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種具有原子蒸氣腔室的MEMS器件及其形成方法。其中該MEMS器件包括：硅襯底，硅襯底中具有至少一個(gè)窗口；相同的第一玻璃基片和第二玻璃基片，第一玻璃基片位于硅襯底之上，第二玻璃基片位于硅襯底之下，其中，窗口與第一玻璃基片和第二玻璃基片形成密封的原子蒸氣腔室，原子蒸氣腔室中具有堿金屬材料；加熱線圈，加熱線圈由透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，位于第一玻璃基片上表面中窗口對(duì)應(yīng)處以及第二玻璃基片下表面中窗口對(duì)應(yīng)處二者中至少之一；以及加熱電極，加熱電極與加熱線圈相連。本發(fā)明的具有原子蒸氣腔室的MEMS器件具有加熱效率高、測(cè)溫準(zhǔn)確、可以實(shí)現(xiàn)更高水平的器件微型化、密封性好等優(yōu)點(diǎn)。